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高精度の直流定電圧源/定電流源と、高分解能の電圧/電流/抵抗測定機能を備えたソースメジャーユニット(SMU)です。
±210Vまでの電圧発生、±1.05Aまでの電流発生が可能です。最小出力分解能は10pA/1μV。
測定機能はデジタルマルチメータの様にNPLCの設定で分解能と測定スピードを可変することができ、基本確度0.012％（5〓桁分解能時）で高精度測定が可能です。
出力は４象限動作でソース（電流の供給）とシンク（電流の吸い込み）が可能。
基本となるDC出力に加え出力値を変化させるシーケンス機能を搭載していますので、ダイオードやLED等半導体や電子部品のI-V特性測定も容易に行うことができます。
SMUはソースとメジャーを一連に動作させることができますので、これまでの電源とDMMをそれぞれ制御していた場合に比べその連動性が向上しますので、システム全体の簡素化や使いやすさにつながる便利な１台です。